LABORATOŘ
AFM/STM
|
|
Unikátní vybavení laboratoře | |
Vysoce čisté prostředí pro experimenty je zajištěno systémem ultravysokého vakua s běžně dosahovaným tlakem 10-11 mbar (Pozn.: 1 mbar = 1 tisícina atmosféry = 100 Pa). Dvě nezávislé měřicí hlavy od firmy Omicron, kombinované AFM/STM a VT-STM s proměnou teplotou, umožňují provádět širokou škálu experimentů. Díky použití unixové pracovní stanice SPARC s programovým prostředím IDL pro ovládání experimentu, sběr a zpracování dat v reálném čase je měření pohodlné a přesné. Nedílnou součástí systému jsou i podpůrné analyzační metody LEED, Augerova
a hmotová spektroskopie, které slouží pro kontrolu kvality povrchu. Díky
připojené in-situ technologii PECVD pro růst vrstev je možné jejich
měření bez přerušení vakua.
|
|
![]() |
![]() |
Systém ultravysokého vakua | |
Z uzavřeného prostoru aparatury je odčerpáván vzduch několika metodami: mechanickým strháváním molekul (turbomolekulární vývěva), nabíjením a následným elektrostatickým přitahováním molekul (iontová vývěva) a nasáváním molekul do porézního materiálu (sorpční vývěva). Tímto způsobem je dosaženo až o 14 řádů nižšího tlaku než je okolní
atmosféra. Molekula plynu tak může uletět několik metrů, než se potká s
jinou částicí. V takovém prostředí je zamezeno nežádoucím změnám povrchu
vzorku (např. oxidaci) po dobu mnoha hodin.
|
|
Technologie PECVD | |
PECVD je technologie přípravy tenkých vrstev amorfního a mikro-krystalického křemíku pomocí chemických reakcí plynů v plazmatu. Výhodou je možnost měření připravených vrstev, aniž by jejich vlastnosti byly pozměněny působením plynů obsažených ve vzduchu (tzv. in-situ měření). |
|
Měřící hlava VT-STM | |
Unikátní konstrukce umožňuje meření za snížené nebo zvýšené teploty, a to od teploty heliových par -248°C do teploty 1300°C. Současně lze do měřené oblasti kontrolovaně napařovat vybraný materiál, např. zlato či olovo. To je velmi vhodné pro studium růstu, difuze a chemických reakcí na površích. |
|
![]() Obr.5: hlava AFM/STM |
![]() Obr.6: hlava VT-STM |
Měřící hlava AFM/STM | |
Tato měřicí hlava umožňuje snadno přecházet mezi režimy AFM a STM, nebo dokonce měřit sílu (AFM) i tunelový proud (STM) současně. V obou režimech je možné dosáhnout atomárního rozlišení, tj. zviditelnění jednotlivých atomů. Ke vzorku je také přivedeno optické vlákno, které slouží pro studium reakce materiálu na světlo nebo naopak pro sběr světla produkovaného vzorkem. |
|
<< Zviditelňujeme atomy (str.1/3) |
|