test
Nukleace a růst kyslíkových precipitátů v křemíku
Spoluřešitel: RNDr. Jiří Buršík, CSc.
Číslo projektu: 202/09/1013
Agentura: Grantová agentura České republiky
Doba řešení: 01. 01. 2009 - 31. 12. 2011
Projekt je věnován studiu nukleace a růstu kyslíkových precipitátů v křemíkových krystalech rostlých
Czochralskiho metodou. Aplikujeme následující experimentální metody: rtg rozptyl, infračervená absorpční
spektroskopie, leptání, optická mikroskopie a transmisní elektronová mikroskopie, a jejich výsledky detailně
porovnáme. Tyto metody nám dovolí charakterizovat globálně i lokálně distribuci precipitátů (velikosti a
hustoty klastrů) a způsobených defektů (deformace krystalové mříže) ve vzorcích vystavených řízeným
žíhacím procesům. Experimentální výsledky budou srovnány s teoretickým modelováním založeném na
teoriích nukleace a růstu, s metodikou jdoucí za hranice obvykle používané klasické teorie nukleace.
Numerická analýza nám dovolí určit materiálové konstanty používané a potřebné pro numerickou simulaci
růstu precipitátů. Předpověď a porozumění kinetice precipitačních procesů povede k vyvinutí receptů žíhacích
procesů s řízenými parametry vzorků.
Poslední změna
11. 11. 2009