test
Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi
Řešitel: RNDr. Jiří Buršík, CSc.
Číslo projektu: 202/05/0607
Agentura: Grantová agentura České republiky
Doba řešení: 01. 01. 2005 - 31. 12. 2007
V projektu studujeme růst uhlíkových nanotrubek (CNT) a nanovláken (CNF) metodou
plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD) a porovnáváme různé výboje (mikrovlnný,
v.f. CCP a ICP, modifikovaný systém magnetronového naprašování). Cílem je také vyrobit CNT při
nízké teplotě, v atmosférickém výboji a růst jednostěnných CNT. Dále je prováděna syntéza
uhlíkových nanostruktur (strukturovaných polymerů, CNT a fullerenů) v pulzním v.f. doutnavém
výboji. Studujeme vliv trvání pulzu na depozice. V dalším průběhu bude mikro- a nanokrystalický diamant deponován metodou PECVD a jeho vlastnosti budou kontrolovány změnou velikosti krystalitů a
dopováním dalšími elementy, např. bórem. Nanokompozitní vrstvy obsahující CNT a CNF budou
připravovány metodou PECVD. Vrtsvy budou studovány z hlediska mech., optických a elektrických
vlastností. Uhlíkové nanostruktury budou připravovány se zřetelem na funkční zařízení (emitory,
standardy pro odhadnutí tuposti AFM hrotu) and pro modifikaci materiálových vlastností
povrchu (optických, mechanických a elektromagnetických). Výboje použité pro zmíněné procesy
jsou studovány optickou emisní spektroskopií, hmotovou a iontovou spektroskopií a Langmuirovou
sondou. Připravené materiály rovněž charakterizujeme pomocí TEM a SEM, AFM, FTIR a
Ramanovskou spektroskopií, RBS a ERDA, XPS, XRD. Bude vytvořena skupina spolupracujících
českých laboratoří pro pokročilou charakterizaci materiálů.
Poslední změna
11. 11. 2009