Laboratoř MOVPE
(epitaxe z organokovových sloučenin)

oddělení polovodičů Fyzikálního ústavu AV ČR

Laboratoř MOVPE - růst A III B V polovodičových struktur zejména na bázi GaAs a GaSb epitaxí z organokovových sloučenin

pomocí  MOVPE aparatury AIXTRON 200

Předchozí technologické zkušenosti: růst A III B V polovodičů pomocí kapalné epitaxe (LPE) a příprava objemových krystalů (GaSb, GaAs).

Vedoucí laboratoře : Eduard Hulicius

  • Text o technologické laboratoři MOVPE

Linky:

Fyzikální ústav
AV ČR

Akademi věd ČR

Výzkum

Projekty
(řešené i vyřešené)

Lidé  laboratoře

Seznam publikací
e-mail laboratoře: movpe@fzu.cz English version