Řádkovací elektronový mikroskop s fokusovaným iontovým svazkem

Vysokorozlišovací řádkovací elektronový mikroskop (FE SEM) kombinovaný s fokusovaným iontovým svazkem (FIB) FEI Quanta 3D FEG a rozsáhlým příslušenstvím (EDS, EBSD, GIS, atd.) je plně vybaveným systémem pro 2D a 3D mikroskopii, nanoobrábění a MEMS prototypování. Materiálová charakterizace zahrnuje nejpokročilejší metody 3D krystalografického mapování, 3D zobrazování tvaru a distribuce částic a fází v měřítku od několika nanometrů až po stovky mikrometrů. Fokusovaný iontový svazek umožňuje flexibilní mikroobrábění s extrémní přesností (~ 10 nm). Pří nízkých proudech může být FIB použit jako mikroskop pro zobrazování povrchů s maximálním rozlišením 5 nm. Spojením plynového vstřikovacího systému (GIS) s FIB a nanomanipulátorem je umožněna příprava mikroelektromechanických systémů, fólií pro transmisní elektronovou mikroskopii, modifikace hrotů pro AFM, atd.

Specifikace:
Elektronový svazek
Zdroj elektronů: Schottkyho autoemisní katoda (FEG)
Rozlišení:

Vysoké vakuum: 0,8 nm při 30 kV (STEM), 1 nm při 30 kV (SE), 2,5 nm
při 30 kV (BSE), 2,9 nm při 1 kV (SE – bez deceleračního módu)
Nízké vákuum: 1,5 nm při 30 kV (SE), 2,5 nm při 30 kV (BSE), 2,9 nm při 3 kV (SE),
Velmi nízke vakuum (ESEM): 1,5 nm při 30 kV (SE)

Iontový svazek
Zdroj iontů: ionty Ga
Rozlišení: 7 nm při 30 kV v koincidenčním bodě svazků (5 nm při optimální pracovní vzdálenosti)
Urychlovací napětí: 2 – 30 kV
Proud ve svazku: 1 pA – 65 nA
Neutralizace náboje nefokusovaným elektronovým svazkem pro vymílaní nevodivých vzorků.

<< Back