Paprsek málo energetických ("pomalých") elektronů proniká do vzorku jen velmi mělce a podá tak cenné informace z hloubky nanejvýš několika atomových vrstev. Vybavení elektronového mikroskopu takzvanou "katodovou čočkou" zaručí, že i při malých energiích zůstane paprsek úzký a schopný zkoumat jemné detaily. Bez ní by totiž byl typicky až 1000x širší. Pomalé elektrony poskytují jedinečné informace - pojďte s námi prozkoumat tři význačné případy.

Jak vzniká snímek v rastrovacím elektronovém mikroskopu? Vzorek je bod po bodu osvětlován velmi úzkým elektronovým paprskem. Z ozařovaného bodu vzorku vytryskne gejzír signálních elektronů, jehož intenzitu změří detektor. Tato intenzita je pak vyjádřena stupněm šedi příslušného bodu na vznikajícím snímku.
Elektronový paprsek v běžných elektronových mikroskopech má z mnoha praktických důvodů velmi vysokou energii. Vysoce energetické elektrony ovšem pronikají do vzorku hluboko a navíc se v něm široce rozptylují do stran. Gejzír vzniklých signálních elektronů pak netryská jen z ozařovaného bodu na povrchu, ale i z jeho rozsáhlého okolí a ze značné hloubky. Moderní nanotechnologie si ovšem žádají informace z objemu spíše v rozměrech řádu atomů.