Skupina diagnostiky plazmatu

Skupina se zabývá výzkumem nových diagnostických metod nízkoteplotního plazmatu. Jedná se o reaktivní nízkoteplotní plazma aplikované pro různé technologické aplikace (PVD, PECVD, Plasma ALD) depozice tenkých vrstev. Studované diagnostické metody plazmatu jsou používány přímo při depozičním procesu. Vedoucím skupiny diagnostiky plazmatu je Mgr. Martin Čada, Ph.D.