Rutherfordovský zpětný rozptyl je hojně využívaná analytická metoda, která umožňuje stanovit hloubkové koncentrační profily prvků. Pro studium se používají vysokoenergetické ionty, ovšem morfologie povrchu měřeného vzorku má významný vliv na tvar spektra zpětně odražených iontů. Cílem práce bude simulace spekter zpětně odražených iontů s použitím softwaru SIMNRA 6.03 zahrnující vliv měnící se tloušťky vrstvy ve formě statistického rozdělení gama funkce a modelování vlivu drsnosti vyjádřené pomocí jiných funkcí statistického rozdělení.

Literatura: