Rastrovací prozařovací elektronový mikroskop, pracující obvykle s energií primárního svazku elektronů nad desítkami keV, je široce užívané zařízení pro studium tenkých vzorků. Střední volné dráhy pružného (EMFP) a nepružného (EMFP) rozptylu elektronů rostou se vzrůstající energií. Průchod elektronů vzorkem určité tloušťky je tak otázkou použití dostatečně vysoké energie primárních elektronů, což může vést k radiačnímu poškození vzorku. Je-li energie primárních elektronů snižována pod 100 eV, IMFP začíná opět narůstat, avšak totéž neplatí pro EMFP. Cílem tohoto projektu je studium možností rastrovací prozařovací elektronové mikroskopie s velmi nízkou energií, kde k brždění elektronového svazku těsně nad vzorkem je použita katodová čočka. Je tak možné dosáhnout rozlišení několika nm i při energii několika eV. Studován bude hlavně vliv vzorku na průchod primárního svazku elektronů a úhlově-energiová spektroskopie prošlých elektronů.
|
