UPT- 6431
| Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích |
Podstatou projektu je vyvinout depoziční systém pro přípravu termálně stabilních nanostrukturovaných diamantu podobných uhlíkových vrstev s využitím dvoufrekvenčního kapacitního plazmatu. Je plánována komplexní charakterizace jak dvoufrekvenčního plazmatu, tak struktury, mechanických a optických vlastností deponovaných vrstev.
|
| Řešitel: | Buršíková Vilma | Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta |
| Spoluřešitelé: | Sobota Jaroslav | Ústav přístrojové techniky - Akademie věd České republiky, v.v.i. |
| Klapetek Petr | Český metrologický institut |
| |
| Agentura: | GA ČR |
| Reg. č.: | GA202/07/1669 |
| Trvání: | 01:01:2007 - 31:12:2011 |
