UPT- 5401
Kombinované SIMS-SFM zařízení pro 3D chemickou analýzu nanostruktur
Cílem projektu je vývoj nového zařízení, které kombinuje TOF-SIMS (hmotnostní spektrometr sekundárních iontů určujícím dobu průletu spektrometrem) s vysokorozlišovacím ultravakuovým mikroskopem atomárních sil. 3D-Nanochemiscope poskytne doplňující informaci o chemickém složení povrchu s rozlišením až 10 nm a hloubkovým rozlišením 1 nm, dovolujícím rekonstruovat chemickou strukturu ve třech rozměrech. Rozlišení spektrometru se zlepší použitím nového zdroje s kapalným vizmutem (Bi LMIG), vývoj nového TOF spektrometru dovolí zvýšit citlivost analýzy. V zařízení bude použit metrologický mikroskop s vysoce přesným rastrováním pomocí ohybového skeneru a precizním xyz-stolkem, který bude vyvinut a vyráběn firmou NANOSCAN.
Řešitel:Niehuis Ewald ON-TOF Technologies
Spoluřešitel:Lencová BohumilaÚstav přístrojové techniky - Akademie věd České republiky, v.v.i.
Agentura: EC
Reg. č.: NMP4-SE-2008-200613
Trvání: 15:09:2008 - 15:09:2012