UPT- 4521
| Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie |
V rámci projektu bude zkoumána metodika technik sondové mikroskopie (SPM) s důrazem na vysoké rozlišení umožnující kvantitativní studium objektu velikosti v řádu nanometru a na metrologické souvislosti (návaznost na státní etalon délky). Výzkum metodologie bude zameřen na velmi přesnou interferometrii pro měření malých délek, interferometrická kalibrace ve více osách systému SPM, měření mechanických vlastností nanostruktur a velmi tenkých vrstev pomocí kombinace nanoindentace a SPM a na teoretickou a xperimentální analýzu sil působících v SPM a přístrojích pro nanoindentaci.
|
| Řešitel: | Klapetek Petr | Český metrologický institut |
| Spoluřešitelé: | Lazar Josef | Ústav přístrojové techniky - Akademie věd České republiky, v.v.i. |
| Buršíková Vilma | Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta |
| |
| Agentura: | AV ČR |
| Reg. č.: | KAN311610701 |
| Trvání: | 01:01:2007 - 31:12:2011 |
