|
|
Close Help | ||||||||||||||
V laboratořích odd. 25 se zabýváme vedle přípravy tenkých vrstev také diagnostikou nízkoteplotního plazmatu za účelem optimalizace depozičního procesu. Jako hlavní diagnostický nástroj používáme Langmuirovu sondu, která nám umožňuje přesně stanovit v prostorovém a časovém rozlišení základní parametry plazmatu tj. potenciál plazmatu, plovoucí...
Základním cílem současné vědecké práce je vytváření tzv. hierarchických multivrstevnatých systémů s předpokládanou konečnou funkčností využitelnou např. v mikroelektronice nebo fotovoltaice. Jednotlivé složky jsou zpravidla tvořeny tenkými vrstvami s uspořádanými částicemi, které zabezpečují parciální funkci nezbytnou pro funkčnost celého systému...
Vyvinuli jsme nízkoteplotní vícekanálový RF plazmatický systém pracující za atmosférického tlaku. Pomocí tohoto systému jsme připravili transparentní vodivé oxidy SnOx , In2O3 a tenké vrstvy ZnO na polymerových substrátech. Plazmatický systém jsme optimalizovali tak, že je možné připravit tyto typy vrstev na ADC ( Allyl...
V nízkotlakém UHV plazmatickém systému s dutou katodou a plazmatickým kanálem provádíme v současné době experimenty s depozicí tenkých feroelektrických vrstev BaxSr1-xTiO3 (BSTO) zejména na křemíkové substráty pro mikrovlnné aplikace.
CZ 19386 U1, Úřad průmyslového vlastnictví, Zápis užitného vzoru ze dne 2. března 2009. Technické řešení se týká popisu měřicího systému pro časově rozlišenou laserovou absorpční spektroskopii v pulsním plazmatu, který je určen zejména pro využití v základním výzkumu plazmatu a plazmových technologií.
CZ 17139 U1, Úřad průmyslového vlastnictví, Zápis užitného vzoru ze dne 8. ledna 2007. Řešení spadá do oblasti plazmochemických vícetryskových systémů pro realizaci depozice tenkých vrstev, a to zejména InxOy, SnOx a ZnO vodivých optických transparentních vrstev (TCO), za atmosférického tlaku.
CZ 17135 U1 , Úřad průmyslového vlastnictví, Zápis užitného vzoru ze dne 8.1.2007 Systém spadá do oblasti technologických postupů depozice tenkých feroelektrických vrstev s využitím plazmochemických reakcí a týká se konstrukce systému pro realizaci depozice perovskitových vrstev, zejména tenkovrstvých struktur typu BaxSr1-xTiO3.
Copyright © 2008, Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
