UPT- 6241
| Optimalizace výrobních postupů v elektronové litografii |
Programový projekt je zaměřen na optimalizaci a zdokonalení výrobních postupů v elektronové litografii. Konkrétně se jedná o postupy spojené s elektronovým litografem řady BS 600, který pracuje s tvarovaným pravoúhlým svazkem elektronů. Výzkum a vývoj vedoucí k markantnímu zlepšení parametrů těchto aparatur i souvisejících technologií a výrobních postupů v průmyslovém nasazení je hlavním obsahem tohoto programového projektu.
|
| Řešitel: | Těthal Tomáš | Optaglio s.r.o |
| Spoluřešitel: | Kolařík Vladimír | Ústav přístrojové techniky - Akademie věd České republiky, v.v.i. |
| |
| Agentura: | MPO |
| Reg. č.: | FR-TI1/576 |
| Trvání: | 01:07:2009 - 30:06:2012 |
