|
|
Close Help | ||||||||||||||
V laboratořích odd. 25 se zabýváme vedle přípravy tenkých vrstev také diagnostikou nízkoteplotního plazmatu za účelem optimalizace depozičního procesu. Jako hlavní diagnostický nástroj používáme Langmuirovu sondu, která nám umožňuje přesně stanovit v prostorovém a časovém rozlišení základní parametry plazmatu tj. potenciál plazmatu, plovoucí potenciál, hustotu plazmatu a střední kinetickou energii elektronů. Navíc jsme zkonstruovali v naší laboratoři tzv. kalorimetrickou sondu umožňující měřit absolutního hodnotu energetického toku na substrát v principu v jakémkoli plazmatickém systému. Celý text >>
Základním cílem současné vědecké práce je vytváření tzv. hierarchických multivrstevnatých systémů s předpokládanou konečnou funkčností využitelnou např. v mikroelektronice nebo fotovoltaice. Jednotlivé složky jsou zpravidla tvořeny tenkými vrstvami s uspořádanými částicemi, které zabezpečují parciální funkci nezbytnou pro funkčnost celého systému. Konkrétní soustava je primárně tvořena fotoaktivní vrstvou oxidu titaničitého. Celý text >>
Vyvinuli jsme nízkoteplotní vícekanálový RF plazmatický systém pracující za atmosférického tlaku. Pomocí tohoto systému jsme připravili transparentní vodivé oxidy SnOx , In2O3 a tenké vrstvy ZnO na polymerových substrátech. Plazmatický systém jsme optimalizovali tak, že je možné připravit tyto typy vrstev na ADC ( Allyl diglicol carbonate ) polymeru bez jeho tepelného poškození plazmatem. Celý text >>
V nízkotlakém UHV plazmatickém systému s dutou katodou a plazmatickým kanálem provádíme v současné době experimenty s depozicí tenkých feroelektrických vrstev BaxSr1-xTiO3 (BSTO) zejména na křemíkové substráty pro mikrovlnné aplikace. Celý text >>
CZ 19386 U1, Úřad průmyslového vlastnictví, Zápis užitného vzoru ze dne 2. března 2009.
Technické řešení se týká popisu měřicího systému pro časově rozlišenou laserovou absorpční spektroskopii v pulsním plazmatu, který je určen zejména pro využití v základním výzkumu plazmatu a plazmových technologií. Celý text >>
CZ 17139 U1, Úřad průmyslového vlastnictví, Zápis užitného vzoru ze dne 8. ledna 2007.
Řešení spadá do oblasti plazmochemických vícetryskových systémů pro realizaci depozice tenkých vrstev, a to zejména InxOy, SnOx a ZnO vodivých optických transparentních vrstev (TCO), za atmosférického tlaku. Celý text >>
CZ 17135 U1 , Úřad průmyslového vlastnictví, Zápis užitného vzoru ze dne 8.1.2007
Systém spadá do oblasti technologických postupů depozice tenkých feroelektrických vrstev s využitím plazmochemických reakcí a týká se konstrukce systému pro realizaci depozice perovskitových vrstev, zejména tenkovrstvých struktur typu BaxSr1-xTiO3. Celý text >>
Copyright © 2008, Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
