Fyzikální ústav Akademie věd ČR

Výzkum oddělení 28

Pokročilý systém pro monitorování růstu nanostruktur kovů na dielektrických substrátechVýzkumná témata

Cílem projektu je vyvinout metodu pro monitorování růstu kovových nanostruktur na dielektrické podložce v hybridních depozičních systémech založených na kombinacích laserové depozice, magnetronového naprašování a asistence iontového svazku. Výzkum poskytne lepší porozumění mechanismům růstu - režimům růstu kovových nanostruktur na dielektrickém materiálu. Za tímto účelem jsou vyvíjeny a implementovány metody pro sledování růstu vrstev během depozice a také během následného žíhání. Provádí se charakterizace plazmatu pomocí spektroskopických technik.  Celý text >>

Metalodielektrické struktury pro optikuVýzkumná témata

  V rámci tohoto projektu jsou studovány optické jevy na strukturách kombinujících kovy s dielektrickými materiály (M-D). Mezi studované materiály jsou zahrnuta dielektrika jako jsou oxidy, nitridy a fluoridy. Výběr kovových materiálu je omezen na nízkoztrátové kovy, predevším Ag.  Celý text >>

Vývoj nových hybridních depozičních technik pro přípravu nanostrukturních tenkých fluoridových vrstev s význačnými fluorescenčními vlastnostmiVýzkumná témata

Cílem projektu je vývoj nové hybridní technologie pro přípravu nanostrukturovaných fluoridových, vlnovodových vrstev dopovaných kovy vzácných zemin (RE) s využitím kombinace napařování pomocí elektronového paprsku, pulsní laserové deposice, magnetronového naprašovaní a přídavného iontového zdroje. Pozornost je zaměřena na přípravu vlnovodových struktur s výjimečnými fluorescenčními vlastnostmi.  Celý text >>

Samoorganizované magnetické nanostrukturyVýzkumná témata

Cílem je příprava nanokompozitních (NC) materiálu obsahujících magnetické nanočástice (NP), např. FePt, CoFe, Co, Fe, metodami pulsní laserové depozice, magnetronovým naprašováním, plasmovou tryskou nebo kombinacemi těchto technik. K tomu navrhujeme použít metodu samo-usporádání (self-assembly) s využitím tenké krystalické nukleační mezivrstvy. Pozornost je zaměřena na zkoumání vlivu vlastností této mezivrstvy na režim růstu NP, jejich velikost, distribuci, vzájemnou vzdálenost, krystalovou strukturu a krystalovou orientaci s cílem jejich řízeného ovlivňování.  Celý text >>

Pulzní laserová depoziceVýzkumná témata

Skupina laserových depozic se zabývá zdokonalováním technologie PLD (pulzní laserová depozice) s důrazem na hybridní laserové systémy (kombinace PLD s magnetronem, RF výboji a iontovými svazky) a na kryogenní matrixovou PLD (MAPLE – matrix assisted pulsed laser evaporation) pro přípravu organických tenkých vrstev. Pozornost je soustředěna na vytváření nanokrystalických a nanokompozitních vrstev a multivrstev, a supermřížek.  Celý text >>

Koncepce a výzkum základních nanomechanických a nanotribologických vlastností modelových protektivních tenkých vrstev a biomechanických implantátů.Výzkumná témata

Příprava tenkých protektivních vrstev na bázi amorfního uhlíku s různými dopanty pro snížení vnitřních pnutí a výzkum jejich mechanických a tribologických vlastností s potenciálem aplikace jako tvrdých kluzných vrstev, případně biokompatibilních pro aplikace na povlakování bioprotetik. /např. Surf. Coat. Technol. 202 (2008) 1738; Int. J. Mat. Res. 99 (2008) 871; Microelectronics Journal 40 (2009) 650; Diam. Relat. Mater. 18 (2009) 27/  Celý text >>

Výzkum nanokomprese materiálů za účelem ověření/modelování mechanických vlastností v mikroobjemech materiálu.Výzkumná témata

Pomocí FIB byly z vrstev Al1,5-Cu vyleptány sloupky Ø = 1,3 µm, výšky ~ 1,6x větší. Ty byly stlačovány plochým razníkem nanoindentačního zařízení a byly vyšetřeny křivky σ – ε. Smluvní mez elasticity σ0,2 byla 98 ± 28 MPa. Odchylka od lineárního průběhu však byla pozorována již při tlakových napětích ~ 30 MPa. Při deformacích 15% až 30% bylo pozorováno mnoho posuvů po kluzných rovinách. Rozdíly v pozorovaných hodnotách lze připsat různé krystalografické orientaci vyleptaných sloupků. /J Mater. Res. 24 (2009) 1353/
  Celý text >>

Výzkum fázových přechodů v mikro/nanooblastech pod hrotem nanoindentoru za účelem vyšetření fázových transformací indukovaných vysokým tlakem.Výzkumná témata

Tvrdost a modul pružnosti magnetronovým naprašováním připravených vrstev amorfního křemíku byly menší než vrstev mikrokrystalického křemíku, které vykazují téměř stejné hodnoty jako monokrystal Si(111).
V jednosložkovém materiálu (křemíku bez příměsí) se neformuje nanostruktura s mechanickými vlastnostmi vyššími než má monokrystal Si.  Celý text >>

Experimentální výzkum šíření akustické povrchové vlny neideálním povrchem (drsnost, ostrůvkovitý film, různé povrchové struktury) a ověřování teoretických modelů za účelem aplikace akustické povrchové vlny na výzkum povrchů a tenkých povrchových vrstevVýzkumná témata

Experimentální ověření vlivu drsnosti na fázovou rychlost Rayleighových vln v krystalech GaAs /Thin Solid Films 491 (2005) 184/
Experimentální ověření teoretického řešení šíření akustických vln modelovým povrchem tvořeným kapičkami Au na Si krystalu /J Appl Phys 102 (2007) 063516/  Celý text >>

Přehled významných výsledkůVýznamné výsledky

  • vyvinuty UHV hybridní laserové systémy pro depozici samoorganizovaných magnetických nanostruktur a fluoridových nanostruktur pro optiku
  • vyvinut řídící systém pro sledování parametrů vakua – zakoupen firmou Pfeiffer Vacuum
  • vývoj variabilních optických filtrů (vyvinuta depoziční aparatura umožňující řízení růstu multivrstvých struktur pomocí insitu monitorování optických vlastností)
  • detailní charakterizace plazmatu při pulsním reaktivním magnetronovém naprašování vrstev oxidu hliníku – přesné řízení režimů depozice
  • vyšetření vlivu UV laserového  Celý text >>

Copyright © 2008, Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.