Multivrstvy pro rentgenovou optiku

Deponujeme multivrstvové molybden/křemíkové systémy, které mohou být požity pro rentgenové záření v rozmezí vlnových délek od 12 nm do 30 nm. Maximální hodnoty odrazivosti dosahují až 70 % pro kolmý dopad.

Pro velmi krátké vlnové délky rentgenového záření (pod 4 nm) nemohou být multivrstvové systémy vyrobeny kvůli nerovnostem rozhraní, které způsobují značnou degradaci odrazivosti. Nicméně periodické multivrstvy mohou být pořád použity pro šikmý dopad, kdy je jejich odrazivost mnohem vyšší než u monovrstvových povlaků.

Řez Mo/Si multivrstvou deponovanou v naší laboratoři (TEM)

Typická závislost odrazivosti při kolmém dopadu na Mo/Si rengenové zrcadlo deponované v naší laboratoři