Fyzikální ústav Akademie věd ČR

Institute and media

Český rozhlas Leonardo, 27.6.2010.

Přestože od úmrtí světoznámé...

Český rozhlas, 10.6.2010.

O novém vynálezu levných a účinných...

Oddělení nízkoteplotního plazmatu

Activities

Oddělení nízkoteplotního plazmatu se zabývá zejména přípravou tenkých vrstev plazmo-chemickými metodami a vývojem technologických postupů vedoucích k optimálnímu růstu studovaných vrstev. Kromě klasického magnetronového naprašování jsou využívány jak nízkotlaké procesy (zejména výboj v duté katodě) tak vysokotlaké procesy pracující za atmosférického tlaku (např. bariérový pochodňový výboj). Samozřejmostí je detailní diagnostika technologického plazmatu prováděná při většině experimentů, která umožňuje vysokou reprodukovatelnost depozičních procesů.

Copyright © 2008-2010, Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.