System for the deposition of thin films at atmospheric pressure
CZ 17139 U1, Úřad průmyslového vlastnictví, Zápis užitného vzoru ze dne 8. ledna 2007.
Solution comes under field of plasma-chemical multi-jet systems for realization of thin films deposition, in particular InxOy, SnOx and ZnO transparent conductive optical thin films (TCO), at atmospheric pressure.
