Bude studován mechanismus vzniku kontrastu v rastrovacím elektronovém mikroskopu s velmi nízkou energií elektronů, založený na rozdílech v rozdělení signálních elektronů mezi jednotlivými body povrchu objemového vzorku. Signální elektrony vycházející ze vzorku pod různými úhly budou zpracovány vhodnou elektrostatickou elektronovou optikou a zobrazeny na mnohokanálový plošný detektor. Metoda bude ověřena pozorováním difrakčního kontrastu na čistých površích, kontrastu s dělenou amplitudou na tenkých vrstvách a kontrastu mezi různě dopovanými oblastmi polovodiče. Pro experimenty použijeme nově navržený optický systém s katodovou čočkou pro zbrždění elektronů primárního svazku na velmi nízkou energii, s Wienovým filtrem pro odklonění signálních elektronů od optické osy a s elektrostatickými transportními čočkami. Pro detekci signálních elektronů bude použit ztenčený ze zadní strany přímo elektrony bombardovaný CCD.
|
