Èistý sál tøídy 10000.
Vpravo od vchodu nejprve aparatura RIE (Trion), vedle ní barelová leptací aparatura (214 VT). Vzadu na stìnì redukèní panely plynového hospodáøství, vpravo od nich aparatura RIE ICP (Plasmalab Systém 100, Oxford Plasma Technology). Vedle bezpeènostního semaforu na stìnì skøíò s hmotovými prùtokomìry. Za monitorem odsávaná skøíò s leptacími zdroji. Vpravo od operátora èervená bezpeènostní sprcha, dále vpravo digestoø a pøed vchodem stùl s diagnostickým zaøízením.
