Èistý sál tøídy 1000.
Vpravo od vchodu 2 øídicí poèítaèe nanolitografu. Operátor otevírá skøíò s ovládacími jednotkami. V bíle osvìtlené laminární zónì (tøídy 100) je na antivibraèním bloku umístìn vlastní nanolitograf e_LiNE (Raith). Vpravo od zóny vzadu jednotka magnetického stínìní (SC20, Spicer Consulting). Druhý operátor mìøí elipsometrem parametry deponovaných rezistových vrstev. Vpravo od prùchodu odsávaná skøíò s rezisty a chemikáliemi, lednièka na uchovávání rezistù, deionizaèní jednotka pro pøípravu èisté vody a oèní bezpeènostní sprcha. Okno ve stìnì vede do šedé šatny.
