Laboratoø nanolitografie – pracovištì fotolitografie a zpracování rezistù

Pokraèování èistého sálu tøídy 1000. Vpravo od vchodu pohled z jiného úhlu na elektronový nanolitograf e_LiNE a elipsometr. Dále vpravo profilometr (Dektak 150). Druhý operátor obsluhuje optické projekèní zaøízení (Canon FPA). Vpravo od stolu s optickou mikroskopií tøetí operátor pøipravuje polovodièové vzorky k depozici rezistù. V pùdorysu žlutého osvìtlení stropu se nachází druhá laminární zóna tøídy 100. Spoleènì s laminární zónou elektronového nanolitografu se jedná o nejèistší oblasti celého pracovištì.