Systém pro realizaci depozice tenkých vrstev za atmosférického tlaku
CZ 17139 U1, Úřad průmyslového vlastnictví, Zápis užitného vzoru ze dne 8. ledna 2007.
Řešení spadá do oblasti plazmochemických vícetryskových systémů pro realizaci depozice tenkých vrstev, a to zejména InxOy, SnOx a ZnO vodivých optických transparentních vrstev (TCO), za atmosférického tlaku.
