Dvousvazkový mikroskop

Tzv. dvousvazkový mikroskop kombinuje vysokorozlišovací øádkovací elektronový mikroskop s fokusovaným iontovým svazkem. Pøístroj umožòuje zobrazení povrchu prakticky všech pevných látek s limitním rozlišením 1 nanometr. Dále se používá pro tøírozmìrnou tomografii materiálù, analýzu krystalografie a chemického složení vzorkù elektronovým svazkem, a vysoce pøesné mikroobrábìní iontovým svazkem.