Fyzikální ústav Akademie věd ČR

CZ 17135 U1 , Úřad průmyslového vlastnictví, Zápis užitného vzoru ze dne 8.1.2007
Systém spadá do oblasti technologických postupů depozice tenkých feroelektrických vrstev s využitím plazmochemických reakcí a týká se konstrukce systému pro realizaci depozice perovskitových vrstev, zejména tenkovrstvých struktur typu Ba_xSr_1-xTiO₃.