Fyzikální ústav Akademie věd ČR

CZ 17139 U1, Úřad průmyslového vlastnictví, Zápis užitného vzoru ze dne 8. ledna 2007.
Řešení spadá do oblasti plazmochemických vícetryskových systémů pro realizaci depozice tenkých vrstev, a to zejména In_xO_y, SnO_x a ZnO vodivých optických transparentních vrstev (TCO), za atmosférického tlaku.