Laboratoř nanolitografie – pracoviště suchých leptacích procesů

Čistý sál třídy 10000. Vpravo od vchodu nejprve aparatura RIE (Trion), vedle ní barelová leptací aparatura (214 VT). Vzadu na stěně redukční panely plynového hospodářství, vpravo od nich aparatura RIE ICP (Plasmalab Systém 100, Oxford Plasma Technology). Vedle bezpečnostního semaforu na stěně skříň s hmotovými průtokoměry. Za monitorem odsávaná skříň s leptacími zdroji. Vpravo od operátora červená bezpečnostní sprcha, dále vpravo digestoř a před vchodem stůl s diagnostickým zařízením.