CZ 17139 U1, Úřad průmyslového vlastnictví, Zápis užitného vzoru ze dne 8. ledna 2007.
Řešení spadá do oblasti plazmochemických vícetryskových systémů pro realizaci depozice tenkých vrstev, a to zejména InxOy, SnOx a ZnO vodivých optických transparentních vrstev (TCO), za atmosférického tlaku. Celý text >>