Vysoko-vakuová (HV) komora vybavena čtyřmi magnetrony
(terče o průměru 4 palce) pro přípravu multivrstvých struktur,
DC, pulzní DC nebo RF buzení magnetronů
in-situ spektrální reflektometrie a elipsometrie pro měření tloušťky a indexu lomu
Celý text >>
