Fyzikální ústav Akademie věd ČR

Laboratoř diamantových vrstev a uhlíkových nano-struktur (A. Kromka)

  • Chemická depozice diamantových vrstev za vysokých (až po 250 mbar) a nízkých tlaků (<5 mbar)
  • Velkoplošní depozice DLC vrstev a uhlíkových nanotrubiček v plazmatickém výboji s lineárními anténami (max. depoziční plocha 20x30 cm2)
  • Nukleace substrátů za účelem stimulace růstu nanokrystalických diamantových vrstev (techniky jako ultrazvuková lázeň, polymerní kompozity, odstředivka)
  • Selektivní depozice nanokrystalických diamantových struktur (IDTs struktury, tranzistorové prvky, TLM struktury)
  • Tvorba teplotně-stimulovaných nano-kuliček kovů (Ni, Au) o průměru od 5 po 100 nm
  • Nano-strukturování diamantových vrstev reaktivním iontovým leptáním nebo selektivním růstem pomocí kombinace CVD technik a elektronové litografie
  • Vývoj a realizace elektricky pasivních/aktivních biokompatibilních substrátů vhodných pro regenerativní medicínu
  • Vývoj a realizace elektronických a optických demonstrátorů (senzor plynů, ISFET, bio-senzory, vysokoteplotní piezorezistory, vibrující membránky, optické rezonátory, a jiné)
Řešitelský tým: Alexander Kromka, Zdeněk Remeš, Halyna Kozák, technický pracovníci: Jiří Potměšil, Zdeňka Poláčková, doktorandi: Oleg Babchenko, Neda Neykova, Marina Davydova, Tibor Izák

Copyright © 2008-2010, Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.