V laboratořích odd. 25 se zabýváme vedle přípravy tenkých vrstev také diagnostikou nízkoteplotního plazmatu za účelem optimalizace depozičního procesu. Jako hlavní diagnostický nástroj používáme Langmuirovu sondu, která nám umožňuje přesně stanovit v prostorovém a časovém rozlišení základní parametry plazmatu tj. potenciál plazmatu, plovoucí potenciál, hustotu plazmatu a střední kinetickou energii elektronů. Navíc jsme zkonstruovali v naší laboratoři tzv. kalorimetrickou sondu umožňující měřit absolutního hodnotu energetického toku na substrát v principu v jakémkoli plazmatickém systému. Celý text >>
