Fyzikální ústav Akademie věd ČR

Vedoucí laboratoře: Karel Jurek

Laboratoř rastrovací elektronové mikroskopie a rentgenové mikroanalýzy je celoústavním servisním pracovištěm. Je vybavena elektronovým mikroanalyzátorem JXA-733 japonské firmy JEOL. Přístroj, jehož základem je rastrovací elektronový mikroskop (SEM-Scanning Electron Microscope), je vybaven třemi krystalovými "wavelength dispersive" rentgenovými spektrometry a jedním energeticky disperzním "energy dispersive" Si(Li) spektrometrem fy KEVEX (USA). Softwarové vybavení pochází od francouzské firmy SAMx. Přístroj umožňuje pozorování v režimu sekundárních a zpětně rozptýlených elektronů s rozlišením do 7 nm, kvalitativní a kvantitativní elementární analýzu v rozsahu prvků B – U s rozlišením 1 µm založenou na retgenové emisní spektroskopii (EPMA-Electron Probe Micro Analysis) a vytváření retgenových map ("X-ray image"). Přístroj je dále vybaven zařízením od firmy EDAX-TSL (USA) umožňujícím určovat lokální orientaci krystalů s rozlišením kolem 0,3 μm a mapováním jejich orientace pomocí difrakce zpětně rozptýlených elektronů („EBSD-Electron Back Scatter Diffraction“). Pro použití v oblasti polovodičů umožňuje zobrazení elektromotorické síly pomocí proudů, indukovaných elektronovým svazkem („EBIC-Electron Beam Induced Currents“). Oblast použití zahrnuje polovodiče, tenké vrstvy, slitiny, vysokoteplotní supravodiče, studie morfologie povrchů a pozorování magnetických domén. Posledně jmenovaná oblast využívá speciální detektor zpětně rozptýlených elektronů vlastní konstrukce.

V rámci oddělení strukturní analýzy je nejvyužívanější službou kvalitativní elementární analýza. Během strukturní analýzy krystalických látek běžně dochází k pochybnostem o přítomnosti některého elementu ve studovaném vzorku a elementární analýza pomocí mikrosondy dovede tyto otázky zodpovědět ve velmi krátkém čase.

Laboratoř rastrovací elektronové mikroskopie.