Academy of Sciences of the Czech republic › Science and Research › Significant and interesting projects › Non-Life Sciences Division
Depozice tenkých vrstev pomocí systémů s plazmovými proudícími kanály
Pomocí nízkotlakého plazmatického systému s dutou katodou a plazmatickým kanálem se podařilo připravit dielektrické BaxSr1-xTiO3 tenké vrstvy na různé typy substrátů s kontrolovatelným poměrem koncentrací Ba a Sr. Byla měřena struktura vrstev, která potvrdila přítomnost perovskitové fáze. Pro určité poměry koncentrací Ba a Sr byla naměřena na vrstvách ferroelektrická smyčka. Měření parametrů výboje během depozičního procesu pomocí časově rozlišené sondové diagnostiky a emisní spektroskopie umožnilo stanovení mikroparametrů plazmového kanálu, a tak dosáhnout reprodukovatelnosti depozičního procesu. Dále byl vyvinut nízkoteplotní vícekanálový RF plazmatický systém pracující za atmosférického tlaku. Pomocí tohoto systému se připravovaly TCO (transparent conductive oxides) SnOx, In2O3 a ZnO tenké vrstvy na polymerové substráty. Plazmatický systém byl optimalizován tak, že bylo možné připravit tyto typy vrstev na ADC polymer bez tepelného poškození substrátu interakcí s plazmatem. Vrstvy vykazovaly dostatečnou adhezi, optickou propustnost a elektrickou vodivost.
