Fyzikální ústav Akademie věd ČR

Skupina transportních vlastností polovodičů

  1. Výzkumné programy skupiny
  2. Přístrojové vybavení a experimentální metodiky

Výzkumné programy skupiny zahrnují zejména

  • měření magnetotransportu v polovodičových strukturách se sníženou dimenzí při nízkých teplotách
  • experimentální studium vázaných elektronových stavů způsobených poruchami v polovodičích

K výzkumu můžeme použít následující přístrojové vybavení a experimentální metodiky

  • Zařízení pro magnetotransportní měření při nízkých teplotách (0,3 K), supravodivý magnet Oxford Instruments pro 0-8 T, odporový most Oxford Instruments AVS-47 s velmi nízkou úrovní měřícího signálu.
  • Měření odporu v rozsahu 10-4 Ω - 1014 Ω a měření proudu v rozsahu 10-14 A - 10 A při teplotách 0,3 – 400 K.
  • Frekvenční závislosti komplexní impedance v rozsahu 5 Hz– 13 MHz, s citlivostí aF až mF pro imaginarní část a 10-16 S to 10-4 S pro reálnou část impedance, nízkofrekvenční analyzátor Hewlett-Packard 4192A, systém pro měření kapacity GR 1616
  • Měření voltampérových charakteristik a závislostí kapacity na napětí při teplotách 1,2 – 350 K, včetně možnosti řízení experimentu počítačem. Zařízení je doplněno rtuťovou sondou.
  • Transientní spektroskopie hlubokých hladin (DLTS) pracující na frekvenci 1 MHz s citlivostí ND/NS = 10-7 (ND je koncentrace hlubokých a NS mělkých příměsí) v rozsahu teplot 4,2 - 400 K. Zařízení lze použít i ve frekvenčním módu. Fotoindukovaná transientní proudová spektroskopie (PICTS) s buzením pomocí polovodičového laseru pracuje při teplotách 77 – 450 K s proudovým rozlišením přibližně 1 pA a časovým rozlišením lepším než 1 µs.
  • Edwards Auto 500, vakuový systém pro napařování a naprašování obsahující 4-polohové elektronové dělo, odporové vypařovadlo, RF naprašovací zdroj a vakuovou pec, umožňuje plně kontrolované (tloušťkoměr, hmotový spektrometr) nanášení kovových a nekovových vrstev na různé substráty.

Skupina má značnou zkušenost v práci s uvedenými metodikami na dobré mezinárodní úrovni.

 

 

Stránka oddělení polovodičů

Copyright © 2008-2014, Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.