Laboratoř elektronové a iontové mikroskopie a mikroanalýzy

Charakterizace povrchů metodou rastrovací elektronové mikroskopie, energiově disperzní rentgenové spektroskopie, katodoluminiscence a metodou hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů typu FIB TOF SIMS.

1. Rastrovací elektronový mikroskop TESCAN LYRA3 GM v konfiguraci s SE a BSE detektory v komoře, In-beam SE a In-beam BSE detektory v tubusu, zdroj iontů Ga+ typu FIB, systém GIS pro vstřikování 5 plynů, hmotnostní spektrometr typu TOF, dekontaminátor.