Fyzikální ústav Akademie věd ČR

Výzkumná témata oddělení 25

Diagnostika nízkoteplotního plazmatu v technologických zařízeních pro přípravu tenkých vrstev

V laboratořích oddělení 25 se zabýváme vedle přípravy tenkých vrstev také diagnostikou nízkoteplotního plazmatu za účelem optimalizace depozičního procesu.

Jako hlavní diagnostický nástroj používáme Langmuirovu sondu, která nám umožňuje přesně stanovit v prostorovém a časovém rozlišení základní parametry plazmatu tj. potenciál plazmatu, plovoucí potenciál, hustotu plazmatu a střední kinetickou energii elektronů.

  Celý text >>

Vývoj tenkovrstvých hierarchických nanosystémů pro využití v mikroelektronice a fotovoltaice

Základním cílem současné vědecké práce je vytváření tzv. hierarchických multivrstevnatých systémů s předpokládanou konečnou funkčností využitelnou např. v mikroelektronice nebo fotovoltaice.

  Celý text >>

Depozice tenkých vrstev za atmosférického tlaku

Vyvinuli jsme nízkoteplotní vícekanálový RF plazmatický systém pracující za atmosférického tlaku. Pomocí tohoto systému jsme připravili transparentní vodivé oxidy SnOx , In2O3 a tenké vrstvy ZnO na polymerových substrátech.
Plazmatický systém jsme optimalizovali tak, že je možné připravit tyto typy vrstev na ADC ( Allyl diglicol carbonate ) polymeru bez jeho tepelného poškození plazmatem.

  Celý text >>

Depozice tenkých perovskitových vrstev v nízkotlakých systémech

V nízkotlakém UHV plazmatickém systému s dutou katodou a plazmatickým kanálem provádíme v současné době experimenty s depozicí tenkých feroelektrických vrstev BaxSr1-xTiO3 (BSTO) zejména na křemíkové substráty pro mikrovlnné aplikace.  Celý text >>

Copyright © 2008-2014, Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.