Thin film deposition laboratory

Thin film deposition by thermal evaporation in vacuum.

Equipment:

  • Vacuum deposition apparatus (PLS 570, Pfeiffer vacuum, Germany)
  • Mechanical profilometer (Alpha Step, Tencor, USA)

vakouvá napařovací aparatura

Ústav fotoniky a elektroniky provádí základní a aplikovaný výzkum v oblasti fotoniky, optoelektroniky a elektroniky. ÚFE přispívá k rozvoji poznání v těchto oblastech a vytváří širokou bázi znalostí, jako základ pro vývoj nových špičkových technologií.

Contact us

Data box: m54nucy

IČ: 67985882
DIČ: CZ67985882