CZ 17139 U1,
Úřad průmyslového vlastnictví,
Zápis užitného vzoru ze dne 8. ledna 2007.
Řešení spadá do oblasti plazmochemických vícetryskových systémů pro realizaci depozice tenkých vrstev, a to zejména In
xO
y, SnO
x a ZnO vodivých optických transparentních vrstev (TCO), za atmosférického tlaku.
