Byly studovány možnosti aplikace in situ spektrální elipsometrie při výzkumu fázových přechodů tenkých vrstev a krystalů vybraných oxidů s využitím parametrů (energie zakázaného pásu E
g, index lomu a povrchová drsnost) vypočtených na základě experimentálních elipsometrických dat.
Současně měření hlavních elipsometrických uhlů ψ a Δ bylo využito k přímé detekci fázových přechodů.
DOI:
http://dx.doi.org/10.1364/OE.17.014322 
