Skupina se zabývá výzkumem nových diagnostických metod nízkoteplotního plazmatu. Jedná se o reaktivní nízkoteplotní plazma aplikované pro různé technologické aplikace (PVD, PECVD, Plasma ALD) depozice tenkých vrstev. Studované diagnostické metody plazmatu jsou používány přímo při depozičním procesu. Vedoucím skupiny diagnostiky plazmatu je Mgr. Martin Čada, Ph.D.
Skupina se zabývá výzkumem plazmatických depozičních metod určených pro přípravu různých typů tenkých vrstev, vícevrstvých struktur a nanostruktur. Jedná se o nové PVD a PECVD plazmatické metody jako je vícetryskový systém pulzních dutých katod pro rychlé reaktivní naprašování, pulzní reaktivní HIPIMS magnetronové systémy a MW vícetryskový PECVD plazmový systém s povrchovou vlnou. Zkoumány jsou tenké vrstvy na bázi polovodivých oxidů (Fe2O3, TiO2, WO3) a polovodivých sulfidů (FeS2, MoS2,...
Skupina se zabývá výzkumem depozice tenkých vrstev a nanostruktur pomocí kombinací chemických metod (sol-gel, elektrodepozice, anodizace atd.) a plazmatických metod. Cílem jsou struktury na bázi oxidů kovů (Co3O4 atd.) pro katalytické aplikace. Vedoucím skupiny plazmochemických a chemických technologií je Ing. Petra Kšírová, Ph.D.
Skupina se zabývá experimentálním výzkumem vlastností tenkých vrstev a povrchu pomocí akustické povrchové vlny, akustické emise a měřením nanomechanických vlastností (nanotvrdost atd.). Experimenty jsou srovnávány s výsledky numerického modelování. Vedoucím skupiny povrchů a tenkých vrstev je RNDr. Lubomír Jastrabík, CSc.
