Interferometrické měřicí techniky pro nanopolohování

Cílem projektu je prohloubit základní výzkum v oblasti interferometrických odměřovacích systémů vzdáleností s rozlišením v nanometrové oblasti, který na Ústavu přístrojové techniky, v. v. i., probíhá s podporou projektu Grantové agentury Akademie věd č. KAN311610701. Projekt bude zaměřen na nalezení limitů rozlišení a nejistoty měření u těchto odměřovacích systémů. Hlavní pozornost bude věnována výzkumu spektrálních vlastností vhodných zdrojů laserového záření, frekvenční stabilizaci těchto laserů, vlivu úhlových chyb se zaměřením na multidimenzionální systémy a vlivu parametrů okolního prostředí. Tento výzkum povede k novým metodám vylepšujícím a optimalizujícím klíčové parametry nano-interferometrických multidimenzionálních systémů s přímou návazností na základní etalon délky. Výsledky projektu tak budou zásadním vědeckým přínosem k základní metrologii délky i národní nanometrologii.