NANOMAG
UHV komora pro depozice tenkých vrstev pomocí kombinace technik:
- pulzní laserová depozice (více-terčový systém),
- magnetronové naprašování (dual UHV magnetrony - průměr 2 palce a 3 palce vhodné pro magnetické materiály),
- ECR iontový zdroj,
- analyzační komora z Mu-metalu - připravené vzorky sem mohou být přesunuty pod velmi vysokým vakuem
- Difrakce pomalých elektronů (LEED) (Omicron)
- Augerova elektronová spektroskopie (AES)
Připravované materiály: magnetické materiály: Fe, Co, Ni, FePt, NiCo
FLUORKA
UHV komora pro kombinace:
- pulzní laserové depozice
- napařování elektronovým svazkem
- magnetronové naprašování
- přídavného iontového zdroje
Připravované materiály: fluoridy (dopované kovy vzácných zemin), ZnO, Ag, oxidu hlinitého
