Technologie difrakčních prvků
Skupina elektronové litografie (EBL) vyvinula a rozvíjí Technologii elektronové litografie a Technologii difrakčních prvků. |
|
|
Braggova mřížka vyrobená z difrakční fotošablony se používá pro monitorování stavu kontejnmentu reaktoru. Zdroj ilustrační fotky. Repliky matrice DOVID nacházejí uplatnění při zajištění dokumentů a cenin před paděláním. Zonální čočka tvořená planární strukturou má podobné optické vlastnosti jako klasická objemová čočka. |
Aplikační oblasti:
Vybrané výsledky výzkumu využité průmyslovými partnery:
|
|
Skupina elektronové litografie Oblasti výzkumu: Nabízené technologie: |
|
Detailnější popis a aktuální směry výzkumu a vývoje jsou uvedeny v sekci Oblasti výzkumu:
- Elektronové litografy — zařízení pro záznam obrazců do tenké vrstvy elektronového rezistu
- Mikrolitografie — technologické postupy pro přípravu planárních struktur
- Planární nanostruktury — příprava tenkých mikro a nano struktur pro rozmanité aplikace
- Průmyslová holografie — vývoj difrakčních a holografických prvků pomocí zápisu elektronovým svazkem