Publikace - Elektronová litografie

Pro podrobné hledání publikací je možné využít on-line katalog ASEP.

 

 

Článek v odborném periodiku

2017

Krátký, Stanislav; Kolařík, Vladimír; Horáček, Miroslav; Meluzín, Petr; Král, Stanislav. Combined e-beam lithography using different energies. Microelectronic Engineering 2017, roč. 177, JUN, s. 30-34. ISSN 0167-9317. ABSTRACT

Knápek, Alexandr; Sýkora, Jiří; Chlumská, Jana; Sobola, D. Programmable set-up for electrochemical preparation of STM tips and ultra-sharp field emission cathodes. Microelectronic Engineering 2017, roč. 173, APR 5, s. 42-47. ISSN 0167-9317. ABSTRACT

2016

Bok, Jan; Horáček, Miroslav; Kolařík, Vladimír; Urbánek, Michal; Krzyžánek Vladislav. Measurements of current density distribution in shaped e-beam writers. Microelectronic Engineering, 2016, vol. 149, JAN., pp. 117-124. ISSN 0167-9317. ABSTRACT

2015

Knápek, Alexandr;  Radlička, Tomáš; Krátký, Stanislav. Simulation and Optimization of a Carbon Nanotube Electron Source. Microscopy and Microanalysis. 2015, vol. 21, iss. S4, pp. 60-65. ISSN 1431-9276. ABSTRACT

Krátký, Stanislav; Urbánek, Michal; Chlumská, Jana; Matějka, Milan; Meluzín, Petr;  Kolařík, Vladimír;  Horáček, Miroslav. Kombinace elektronové litografie s gaussovským svazkem a s proměnným tvarovaným svazkem. Jemná mechanika a optika. 2015, roč. 60, č. 1, s. 10-13. ISSN 0447-6441.

Krátký, Stanislav;  Urbánek, Michal;  Kolařík, Vladimír. PEC Reliability in 3D E-beam DOE Nanopatterning. Microscopy and Microanalysis.  2015, vol. 21, iss. S4, pp. 2030-235.  ISSN 1431-9276. ABSTRACT

2014

Urbánek, Michal; Krátký, Stanislav; Matějka, Milan; Kolařík, Vladimí; Horáček, Miroslav. Metody zápisu nanostruktur rastrovací sondou. Chemické listy. 2014, roč. 108, č. 10, s. 937-941. ISSN 0009-2770. ABSTRACT

Urbánek, Michal;  Krátký, Stanislav;  Matějka, Milan;  Kolařík, Vladimír;  Horáček, Miroslav. Plazmochemické leptání křemíku v zařízení Diener nano. Chemické listy. 2014, roč. 108, č. 6, s. 592-595. ISSN 0009-2770. ABSTRACT

2013

Bok, Jan; Kolařík, Vladimí; Horáček, Miroslav; Matějka, Milan; Matějka, František. Modified knife-edge method for current density distribution measurements in e-beam writers. Journal of Vacuum Science & Technology B. 2013, vol. 31, iss. 3, 031603:1-6. ISSN 1071-1023. ABSTRACT

2012

Horáček, Miroslav;  Matějka, František;  Kolařík, Vladimír; Matějka, Milan; Urbánek, Michal. Nano modifikace hrotu W(100)/ZrO elektronového emitéru reaktivním iontovým leptáním. Jemná mechanika a optika. 2012, roč. 57, č. 10, s. 278-280. ISSN 0447-6441.

2011

Kolařík, Vladimír;  Matějka, František;  Horáček, Miroslav;  Matějka, Milan;  Urbánek, Michal. Nanolitografie a kompenzace magnetického pole v prostředí s průmyslovým rušením. Jemná mechanika a optika. 2011, roč. 56, č. 11-12, s. 312-316. ISSN 0447-6441.

Kroupa, M.;  Jakubek, J.; Krejčí, F.;  Žemlička, J.;  Horáček, Miroslav;  Radlička, Tomáš; Vlček, Ivan. Coincidence imaging system with electron optics. Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section A. 2011, vol. 633, Supl. 1, S270-S273. ISSN 0168-9002. ABSTRACT

Monografie

2013

Matějka, František.Praktická elektronová litografie. Brno : Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i, 2013. 88 s. ISBN 978-80-87441-04-6

Konferenční příspěvek - zahraniční konference

2016

Kolařík, Vladimír; Horáček, Miroslav; Matějka, Milan; Krátký, Stanislav; Bok, Jan. Large-area gray-scale structures in e-beam writer versus area current homogeneity and deflection uniformity. In Mika, Filip (ed.). Proceedings of the 15th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno: Institute of Scientific Instruments CAS, 2016, S. 26-27. ISBN 978-80-87441-17-6. [International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /15./, Skalský dvůr, 29.05.2016-03.06.2016, CZ]. ABSTRACT

Kolařík, Vladimír; Horáček, Miroslav; Krátký, Stanislav; Meluzín, Petr; Chlumská, Jana; Matějka, Milan; Král, Stanislav. Laser a fylotaxe. In Sborník příspěvků multioborové konference LASER56. Brno: Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2016, S. 36-37. ISBN 978-80-87441-18-3. [LASER56., Třešť, 19.10.2016-21.10.2016, CZ].

Konvalina, Ivo; Mika, Filip; Krátký, Stanislav; Müllerová, Ilona. Bandpass filter for secondary electrons in SEM - simulations. In Mika, Filip (ed.). Proceedings of the 15th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno: Institute of Scientific Instruments CAS, 2016, S. 28-29. ISBN 978-80-87441-17-6. [International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /15./, Skalský dvůr, 29.05.2016-03.06.2016, CZ].

Krátký, Stanislav; Kolařík, Vladimír; Horáček, Miroslav; Meluzín, Petr; Král, Stanislav. Combined e-beam lithography using different energies. In MNE. 42nd International Conference on Micro and Nano Engineering. Viena: Mondial, 2016. [International Conference on Micro and Nano Engineering /42./, Vienna, 19.09.2016-23.09.2016, AT].

Krátký, Stanislav; Kolařík, Vladimír; Horáček, Miroslav; Holá, Miroslava; Meluzín, Petr. E-beam grayscale exposures into acrylic-glass plate. In MNE. 42nd International Conference on Micro and Nano Engineering. Vienna: Mondial, 2016. [International Conference on Micro and Nano Engineering /42./, Vienna, 19.09.2016-23.09.2016, AT].

Mika, Filip; Konvalina, Ivo; Krátký, Stanislav; Müllerová, Ilona. Bandpass filter for secondary electrons in SEM - experiments. In Mika, Filip (ed.). Proceedings of the 15th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno: Institute of Scientific Instruments CAS, 2016, S. 36-37. ISBN 978-80-87441-17-6. [International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /15./, Skalský dvůr, 29.05.2016-03.06.2016, CZ]. ABSTRACT

Řiháček, Tomáš; Mika, Filip; Matějka, Milan; Krátký, Stanislav; Müllerová, Ilona. Difraction in a scanning electron microscopie. In Mika, Filip (ed.). Proceedings of the 15th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno: Institute of Scientific Instruments CAS, 2016, S. 56-57. ISBN 978-80-87441-17-6. [International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /15./, Skalský dvůr, 29.05.2016-03.06.2016, CZ].

2015

Konvalina, Ivo; Mika, Filip; Müllerová, Ilona; Krátký, Stanislav. Band-pass-filter for secondary electrons in ultra-high resolution SEM. In MC 2015. Microscopy Conference Proceedings. Göttingen: DGE, 2015, S. 378-379. [Microscopy Conference 2015, Göttingen, 06.09.2015-11.09.2015, DE]

Krátký, Stanislav;  Meluzín, Petr;  Urbánek, Michal;  Matějka, Milan;  Chlumská, Jana;  Horáček, Miroslav;  Kolařík, Vladimír. Amplitudově fázová vortexová maska. In Sborník příspěvků multioborové konference LASER 55. Brno: Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2015, S. 32-33. ISBN 978-80-87441-16-9. [LASER 55, Třešť, 21.10.2015-23.10.2015, CZ]

Řiháček, Tomáš;  Mika, Filip;  Matějka, Milan;  Krátký, Stanislav;  Müllerová, Ilona . Study of the coherence of the primary beam in the low energy scanning electron microscope. In MC 2015. Microscopy Conference Proceedings. Göttingen: DGE, 2015, S. 611-612. [Microscopy Conference 2015, Göttingen, 06.09.2015-11.09.2015, DE]

2014

Horáček, Miroslav;  Krátký, Stanislav;  Urbánek, Michal; - Kolařík, Vladimír;  Meluzín, Petr;  Matějka, Milan;  Chlumská, Jana. Exposure Time Comparison between E-beam Writer with Gaussian Beam and Variable Shaped Beam. In NANOCON 2014. 6th International conference proceedings. Ostrava : TANGER, 2014. ISBN 978-80-87294-55-0. [NANOCON 2014. International Conference /6./. Brno (CZ), 05.11.2014-07.11.2014]. ABSTRACT

Horáček, Miroslav;  Bok, Jan;  Kolařík, Vladimír;  Urbánek, Michal;  Matějka, Milan;  Krátký, Stanislav. Measurement of current density distribution in shaped e-beam writers. In 18th International Microscopy Congres. Proceedings. Praha : Czechoslovak Microscopy Society, 2014. ISBN 978-80-260-6720-7.  [International Microscopy Congres /18./. Praha (CZ), 07.09.2014-12.09.2014]

Kolařík, Vladimír; Horáček, Miroslav;  Urbánek, Michal;  Matějka, Milan;  Krátký, Stanislav;  Chlumská, Jana;  Bok, Jan. Structural Color of Metallic Surfaces. In METAL 2014. 23. ročník mezinárodní konference metalurgie a materiálů. Conference Proceedings. Ostrava : TANGER, 2014, s. 962-967. ISBN 978-80-87294-52-9. [METAL 2014. Mezinárodní konference metalurgie a materiálů /23./. Brno (CZ), 21.05.2014-23.05.2014]

Krátký, Stanislav;  Kolařík, Vladimír;  Urbánek, Michal;  Paták, Aleš;  Horáček, Miroslav;  Matějka, Milan. E-beam Nano-patterning for Electroforming Replication.    in NANOCON 2014. 6th International conference proceedings. Ostrava : TANGER, 2014. ISBN 978-80-87294-55-0. [NANOCON 2014. International Conference /6./. Brno (CZ), 05.11.2014-07.11.2014]. ABSTRACT

Krátký, Stanislav;  Urbánek, Michal;  Kolařík, Vladimír;  Horáček, Miroslav;  Chlumská, Jana;  Matějka, Milan;  Šerý, Mojmír;  Mikel, Břetislav. Fázové masky vyrobené elektronovou litografií a iontovým leptáním pro přípravu vláken s braggovými mřížkami. In [Phase photo masks produced by means of electron beam lithography and ion etching for Bragg gratings.] Sborník příspěvků multioborové konference Laser54. Brno : Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2014, s. 31-32. ISBN 978-80-87441-13-8. [Laser54. Třešť (CZ), 29.10.2014-31.10.2014]

Meluzín, Petr;  Horáček, Miroslav;  Urbánek, Michal;  Bok, Jan;   Krátký, Stanislav;  Matějka, Milan;  Chlumská, Jana;  Kolařík, Vladimír. Some Other Gratings: Benchmarks for Large-Area E-Beam Nanopatterning. In NANOCON 2014. 6th International conference proceedings. Ostrava : TANGER, 2014. ISBN 978-80-87294-55-0. [NANOCON 2014. International Conference /6./. Brno (CZ), 05.11.2014-07.11.2014]. ABSTRACT

Müllerová, Ilona;   Radlička, Tomáš; - Mika, Filip;  Krzyžánek, Vladislav;  Neděla, Vilém;  Sobota, Jaroslav;  Zobač, Martin;  Kolařík, Vladimír;  Starčuk jr., Zenon;  Srnka, Aleš;  Jurák, Pavel;  Zemánek, Pavel;  Číp, Ondře;  Lazar, Josef;  Mrňa, Libor . Main Activites of the Institute of Scientific Instruments. In Workshop of Interesting Topics of SEM and ESEM. Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v. v. i, 2014, s. 7-8. ISBN 978-80-87441-12-1. [Workshop of Interesting Topics of SEM and ESEM. Mikulov (CZ), 26.08.2014-31.08.2014]

Urbánek, Michal;  Krátký, Stanislav;  Šimík, M.;  Kolařík, Vladimír;  Horáček, Miroslav;  Matějka, Milan. Plasmonic Structures In PMMA Resist. In NANOCON 2014. 6th International conference proceedings. Ostrava : TANGER, 2014. ISBN 978-80-87294-55-0. [NANOCON 2014. International Conference /6./. Brno (CZ), 05.11.2014-07.11.2014]. ABSTRACT

2013

Chlumská, Jana;  Kolařík, Vladimír;  Krátký, Stanislav;  Matějka, Milan;  Urbánek, Michal;  Horáček, Miroslav Lift-Off technique using different e-beam writers. In NANOCON 2013. 5th International conference proceedings. Ostrava : TANGER Ltd, 2013, s. 286-290. ISBN 978-80-87294-47-5. [NANOCON 2013. International Conference /5./. Brno (CZ), 16.10.2013-18.10.2013]

Kolařík, Vladimír;  Krátký, Stanislav;  Urbánek, Michal;  Matějka, Milan;  Chlumská, Jana;  Horáček, Miroslav. Microstructuring of metallic layers for sensor applications. In METAL 2013 Conference Proceedings. 22nd International Conference on Metallurgy and Materials. Ostrava : TANGER Ltd, 2013, s. 1069-1073. ISBN 978-80-87294-41-3. [METAL 2013. International Conference on Metallurgy and Materials /22./. Brno (CZ), 15.05.2013-17.05.2013]. ABSTRACT

Krátký, Stanislav;  Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan;  Urbánek, Michal;  Horáček, Miroslav;  Chlumská, Jana. Comparison of ultimate resolution achieved by e-beam writers with shaped beam and with Gaussian beam.  InNANOCON 2013. 5th International conference proceedings. Ostrava : TANGER Ltd, 2013, s. 392-398. ISBN 978-80-87294-47-5. [NANOCON 2013. International Conference /5./. Brno (CZ), 16.10.2013-18.10.2013]

Urbánek, Michal;  Kolařík, Vladimí;  Krátký, Stanislav;  Matějka, Milan;  Horáček, Miroslav;  Chlumská, Jana Monte-Carlo simulation of proximity effect in e-beam lithography. In NANOCON 2013. 5th International conference proceedings. Ostrava : TANGER Ltd, 2013, s. 723-726. ISBN 978-80-87294-47-5. [NANOCON 2013. International Conference /5./. Brno (CZ), 16.10.2013-18.10.2013]

2012

Bok, Jan;  Horáček, Miroslav;  Král, Stanislav;  Kolařík, Vladimír;  Matějka, František . Analysis of electron current instability in E-beam writer. In NANOCON 2012, 4th International Conference Proceedings. Ostrava : TANGER Ltd, 2012, s. 295-299. ISBN 978-80-87294-32-1. [NANOCON 2012. International Conference /4./. Brno (CZ), 23.10.2012-25.10.2012]

Bok, Jan;  Kolařík, Vladimír. Measurements of current density distribution in e-beam writer.  In Proceedings of the 13th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2012 - (Mika, F.), s. 7-8 ISBN 978-80-87441-07-7. [International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /13./. Skalský dvůr (CZ), 25.06.2012-29.06.2012]

Horáček, Miroslav;  Matějka, František;  Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan;  Urbánek, Michal. Nano modification of the W(100)/ZrO electron emitter tip using reactive ion etching. In NANOCON 2012, 4th International Conference Proceedings. Ostrava : TANGER Ltd, 2012, s. 723-728. ISBN 978-80-87294-32-1. [NANOCON 2012. International Conference /4./. Brno (CZ), 23.10.2012-25.10.2012]

Horáček, Miroslav;  Kolařík, Vladimír;  Urbánek, Michal ; Matějka, František;  Matějka, Milan. Thin Metallic Layers Structured by E-beam Lithography. In METAL 2012 Conference Proceedings. 21st International Conference on Metallurgy and Materials. Ostrava : TANGER Ltd, 2012. ISBN 978-80-87294-29-1. ABSTRACT

Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan;  Matějka, František;  Krátký, Stanislav;  Urbánek, Michal;  Horáček, Miroslav - Král, Stanislav;  Bok, Jan. Calibration specimens for microscopy. In NANOCON 2012, 4th International Conference Proceedings. Ostrava : TANGER Ltd, 2012, s. 713-716. ISBN 978-80-87294-32-1. [NANOCON 2012. International Conference /4./. Brno (CZ), 23.10.2012-25.10.2012]

Kolařík, Vladimí; - Horáček, Miroslav;  Matějka, František;  Matějka, Milan;  Urbánek, Michal;  Krátký, Stanislav;  Král, Stanislav;  Bok, Jan. E-beam pattern generator BS600 and technology zoom. In NANOCON 2012, 4th International Conference Proceedings. Ostrava : TANGER Ltd, 2012, s. 822-825. ISBN 978-80-87294-32-1. [NANOCON 2012. International Conference /4./. Brno (CZ), 23.10.2012-25.10.2012]

Kolařík, Vladimír;  Zobač, Martin;  Fořt, Tomáš;  Vlček, Ivan;  Dupák, Libor;  Mikmeková, Šárka;  Mikmeková, Eliška;  Mrňa, Libor;  Horáček, Miroslav;  Sobota, Jaroslav. Institute of Scientific Instruments: An Overview Presenatation. In METAL 2012 Conference Proceedings. 21st International Conference on Metallurgy and Materials. Ostrava : TANGER Ltd, 2012, s. 26-31. ISBN 978-80-87294-29-1.  [METAL 2012. International Conference on Metallurgy and Materials /21./. Brno (CZ), 23.05.2012-25.05.2012]

Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan;  Urbánek, Michal;  Král, Stanislav;  Krátký, Stanislav;  Mikšík, P. ; Vašina, J. Proximity effect simulation for variable shape e-beam writer. In Proceedings of the 13th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2012 - (Mika, F.), s. 75-76 ISBN 978-80-87441-07-7. [International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /13./. Skalský dvůr (CZ), 25.06.2012-29.06.2012]

Kolařík, Vladimír;  Matějka, František;  Matějka, Milan;  Horáček, Miroslav;  Urbánek, Michal;  Bok, Jan;  Krátký, Stanislav;  Král, Stanislav;  Mika, Filip. What is the buzz about the TZ mode. In Proceedings of the 13th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2012 - (Mika, F.), s. 37-38 ISBN 978-80-87441-07-7. [International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /13./. Skalský dvůr (CZ), 25.06.2012-29.06.2012]

Matějka, František;  Horáček, Miroslav;  Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan. Thermal-field electron emission W(100)/ZrO cathode: facets versus edges. In Proceedings of the 13th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2012 - (Mika, F.), s. 27-28 ISBN 978-80-87441-07-7.[International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /13./. Skalský dvůr (CZ), 25.06.2012-29.06.2012]

Matějka, Milan;  Urbánek, M.;  Kolařík, V.;  Horáček, M.;  Krátký, Stanislav;  Mikšík, P. ; Vašina, J. Variable-shape E-beam litography: Proximity effect simulation of 3D micro and nano sructures. In NANOCON 2012, 4th International Conference Proceedings. Ostrava : TANGER Ltd, 2012, s. 729-732. ISBN 978-80-87294-32-1. [NANOCON 2012. International Conference /4./. Brno (CZ), 23.10.2012-25.10.2012]

Urbánek, Michal;  Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan;  Matějka, František;  Bok, Jan;  Mikšík, P.;  Vašina, J. Shaped E-beam nanopatterning with proximity effect correction.  In NANOCON 2012, 4th International Conference Proceedings. Ostrava : TANGER Ltd, 2012, s. 717-722. ISBN 978-80-87294-32-1.  [NANOCON 2012. International Conference /4./. Brno (CZ), 23.10.2012-25.10.2012]

2011

Matějka, Milan;  Urbánek, Michal;  Kolařík, Vladimír. Scanning Probe Microscopy: Measuring on Hard Surfaces. In NANOCON 2011. 3rd International Conference. Ostrava : Tanger spol. s r. o, 2011, s. 701-704. ISBN 978-80-87294-27-7.  [NANOCON 2011. International Conference /3./. Brno (CZ), 21.09.2011-23.09.2011]. ABSTRACT

Urbánek, Michal;  Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan. SPM Nanoscratching in the Sub 100 nm Resolution. InNANOCON 2011. 3rd International Conference. Ostrava : Tanger spol. s r. o, 2011, s. 213-217. ISBN 978-80-87294-27-7. [NANOCON 2011. International Conference /3./. Brno (CZ), 21.09.2011-23.09.2011]. ABSTRACT

2010

Matějka, František;  Horáček, Miroslav;  Kolařík, Vladimír;  Král, Stanislav. Modification of the Schottky FE ZrO/W electron emitter. In Proceedings of the 17th IFSM International Microscopy Congress. Rio de Janeiro : Sociedade Brasileira de Microscopia e Microanilise, 2010, I1.12: 1-2. ISBN 978-85-63273-06-2. [International Microscopy Congress (IMC17) /17./. Rio de Janeiro (BR), 19.09.2010-24.09.2010]

Matějka, František;  Horáček, Miroslav;  Kolařík, Vladimír;  Král, Stanislav. Modification of the Schottky Fe ZrO/W electron emitter. In Proceedings of the 12th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2010 - (Mika, F.), s. 13-14. ISBN 978-80-254-6842-5.  [International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /12./. Skalský dvůr (CZ), 31.05.2010-04.06.2010]. ABSTRACT

Matějka, Milan;  Rek, Antonín;  Mika, Filip;  Fořt, Tomáš;  Matějková, Jiřina. Comparison of techniques for diffraction grating topography analysis. In Proceedings of the 12th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2010 - (Mika, F.), s. 29-32. ISBN 978-80-254-6842-5.  [International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /12./. Skalský dvůr (CZ), 31.05.2010-04.06.2010]. ABSTRACT

Urbánek, Michal;  Kolařík, Vladimír;  Král, Stanislav;  Dvořáková, Marie. Determination of proximity effect forward scattering range parameter in e-beam lithography. In Proceedings of the 12th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2010 - (Mika, F.), s. 67-68 ISBN 978-80-254-6842-5. [International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /12./. Skalský dvůr (CZ), 31.05.2010-04.06.2010]. ABSTRACT

Konferenční příspěvek - lokální konference

2012

Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan. Počítačem generované hologramy - CGH. In Růžička, B.; Čeledová, J.(ed.).  Sborník příspěvků multioborové konference LASER52. Brno : Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i, 2012, s. 31 ISBN 978-80-87441-08-4. [LASER52. Třešť (CZ), 31.10.2012-02.11.2012]

Smluvní výzkum

2016

Horáček, Miroslav; Kolařík, Vladimír; Matějka, Milan; Krátký, Stanislav; Chlumská, Jana; Meluzín, Petr; Král, Stanislav. SMV-2016-01: Reliéfní struktury na principu difraktivní optiky. Brno: API Optix s.r.o., 2016. 10 s.

Krátký, Stanislav; Kolařík, Vladimír; Horáček, Miroslav; Matějka, Milan; Chlumská, Jana; Meluzín, Petr; Král, Stanislav. SMV-2016-02: Lift-off technologie pro metalické mikrostruktury. Brno: Thermo Fisher Scientific, 2016. 4 s.

Matějka, Milan; Horáček, Miroslav; Meluzín, Petr; Chlumská, Jana; Král, Stanislav; Kolařík, Vladimír; Krátký, Stanislav; Fořt, Tomáš; Oulehla, Jindřich; Šerý, Mojmír. SMV-2016-03: Přesné reliéfní struktury. Brno: TESCAN Brno s.r.o., 2016. 10 s.

2015

Král, Stanislav. SMV-2015-12: Reliéfní struktury na principu difraktivní optiky.  [SMV-2015-12: Relief structures based on diffractive optics.] Brno: API Optix s.r.o, 2015. 10 s.

Horáček, Miroslav;  Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan;  Krátký, Stanislav;  Chlumská, Jana;  Meluzín, Petr;  Král, Stanislav. SMV-2015-14: Technologie elektronové litografie. [SMV-2015-14: Development of e-beam lithography technology.] Brno: Optaglio s.r.o, 2015. 4 s.

Horáček, Miroslav;  Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan;  Krátký, Stanislav;  Chlumská, Jana;  Meluzín, Petr;  Král, Stanislav. SMV-2015-15: Vývoj amplitudově fázové masky. [SMV-2015-15: Development of combined amplitude/phase photo masks.] Brno: Univerzita Palackého v Olomouci, Přírodovědecká fakulta, 2015. 6 s.

Krátký, Stanislav;  Kolařík, Vladimír;  Horáček, Mirosla;  Matějka, Milan; Chlumská, Jana;  Meluzín, Petr;  Král, Stanislav. SMV-2015-13: Reliéfní struktury na principu difraktivní optiky. [SMV-2015-13: Relief structures based on diffractive optics.] Brno: Optometrics Corp, 2015. 4 s.

Matějka, Milan;  Horáček, Miroslav;  Meluzín, Pet;  Chlumská, Jana;  Král, Stanislav;  Kolařík, Vladimír;  Krátký, Stanislav. SMV-2015-35: Vývoj testovacích preparátů pro REM. [SMV-2015-35: Development of test speciments for SEM.] Brno: TESCAN Brno s.r.o, 2015. 4 s.

2014

Horáček, Miroslav;  Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan;  Urbánek, Michal; Krátký, Stanislav; Chlumská, Jana; Meluzín, Petr;  Král, Stanislav. SMV-2014-01: Reliéfní struktury na principu difraktivní optiky. [SMV-2014-01: Relief structures based on diffractive optics.] Brno : API Optix s.r.o, 2014. 2 s.

Matějka, Milan;  Horáček, Miroslav;  Meluzín, Petr;  Chlumská, Jana;  Král, Stanislav;  Kolařík, Vladimír; Urbánek, Michal;  Krátký, Stanislav. SMV-2014-28: Vývoj testovacích preparátů pro REM. [SMV-2014-28: Development of test specimens for SEM.] Brno : Tescan Brno s.r.o, 2014. 2 s.

2013

Horáček, Miroslav;  Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan;  Urbánek, Michal;  Krátký, Stanislav;  Chlumská, Jana,  Král, Stanislav. SMV-2013-01: Reliéfní struktury na principu diftraktivní optiky. [SMV-2013-01: Relief structures based on diffractive optics.] Brno : API Optix s.r.o, 2013. 6 s.

Horáček, Miroslav; Kolařík, Vladimír; Matějka, Milan;  Urbánek, Michal;  Krátký, Stanislav;  Chlumská, Jana; Král, Stanislav. SMV-2013-15: Reliéfní struktury na principu diftraktivní optiky. [SMV-2013-15: Relief structures based on diffractive optics.] Brno : IQ Structures, s.r.o, 2013. 6 s.

2012

Horáček, Miroslav;  Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan;  Urbánek, Michal;  Krátký, Stanislav; Chlumská, Jana;  Král, Stanislav. SMV-2012-05: Reliéfní struktury na principu diftraktivní optiky. [SMV-2012-05: Relief structures based on diffractive optics.] Brno : IQ Structures, s.r.o, 2012. 6 s.

Kolařík, Vladimír;  Matějka, Milan;  Urbánek, Michal;  Krátký, Stanislav;  Chlumská, Jana;  Horáček, Miroslav,  Král, Stanislav. SMV-2012-01: Testovací preparát pro SEM. [Testing specimens for SEM.] Brno : FEI Czech Republic s.r.o, 2012. 5 s.

Matějka, Milan;  Kolařík, Vladimír;  Urbánek, Michal;  Krátký, Stanislav;  Chlumská, Jana;  Horáček, Miroslav;  Král, Stanislav. SMV-2012-12: Testovací preparát pro SEM. [SMV-2012-12: Testing specimens for SEM.] Brno : TESCAN ORSAY HOLDING, a.s, 2012. 3 s.

Urbánek, Michal. SMV-2012-19: Topografie povrchů tenkých polymerních vrstev. [SMV-2012-19: Topography of thin polymer films.] Brno : Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně, 2012. 4 s.

2010

Polívka, L. ; Kolařík, Vladimír; Mikšík, P. Roční zpráva o řešení projektu MPO FR-TI1/574: Optimalizace výrobních postupů v elektronové litografií. [Annual report, project MPO FR-TI1/574: Optimization of production flow in electron-beam lithography and mastering.] Řež u Prahy : Ministerstvo průmyslu a obchodu ČR, 2010. 116 s.