Depozice interferenčních vrstev vakuovým napařováním elektronovým svazkem a spektrofotometrické měření jejich spektrální odrazivosti a propustnosti.

Tenké vrstvy připravujeme vakuovým napařováním elektronovým svazkem na zařízení Balzers BAK550 vybaveném dvěma elektronovými děly. Podložky lze před depozicí ohřívat. Zařízení umožňuje produkovat malé série substrátů s maximálním průměrem 180 mm nebo obdélníky 170 mm x 120 mm. Jsme schopni deponovat následující materiály: TiO₂, SiO₂, Ta₂O₅, ZrO₂, CeO₂, HfO₂, Y2O₃, MgO, Al₂O₃, MgF₂, Na₃AlF₆.

Aplikace:
Aplikacemi jsou interferenční filtry pro viditelnou, blízkou UV a blízkou IR oblast světelného spektra. Příklady filtrů jsou:

• antireflexní vrstvy
• neabsorbující zrcadla
• studená zrcadla
• tepelné filtry
• barevné (dichroické) filtry
• hradící a pásmové filtry
• děliče světla
• polarizátory
• nepolarizující odražeče
• monochromatické filtry

Měření spektrální odrazivosti a propustnosti provádíme na spektrofotometru Varian Cary 5E.