Diagnostika nízkoteplotního plazmatu v technologických zařízeních pro přípravu tenkých vrstev

V laboratořích oddělení 25 se zabýváme vedle přípravy tenkých vrstev také diagnostikou nízkoteplotního plazmatu za účelem optimalizace depozičního procesu.

Jako hlavní diagnostický nástroj používáme Langmuirovu sondu, která nám umožňuje přesně stanovit v prostorovém a časovém rozlišení základní parametry plazmatu tj. potenciál plazmatu, plovoucí potenciál, hustotu plazmatu a střední kinetickou energii elektronů.

Navíc jsme zkonstruovali v naší laboratoři tzv. kalorimetrickou sondu umožňující měřit absolutního hodnotu energetického toku na substrát v principu v jakémkoli plazmatickém systému. Tedy jsme schopni určit energetické podmínky na substrátu během depozice vrstvy.

Dále v naší laboratoři se zabýváme kromě emisní optické spektroskopie také laserovou absorpční spektroskopií. Tato metoda je schopna stanovit absolutní koncentrace a kinetickou energii např. atomů titanu rozprášených z katody nebo atomů argonu v metastabilním stavu. Znalost koncentrace metastabilních argonových atomů je důležitá pro posouzení, ve které části objemu výboje dochází k excitaci částic tvořících deponovanou vrstvu.

Dále je naše laboratoř vybavena mřížkovým energetickým analyzátorem nabitých částic, který se používá na měření energetické distribuční funkce iontů v místě substrátu a na měření iontového toku na substrát.

V popředí UHV kompatibilní Langmuirova sonda s možností vzduchového chlazení a RF kompenzací. V pozadí aparatura pro laserovou absorpční spektroskopii.

Pracovní tým:
Mgr. Zdeněk Hubička, Ph.D
Mgr. Martin Čada, Ph.D
RNDr. Jiří Olejníček, Ph.D
Ing. Štěpán Kment
RNDr. Vítězslav Straňák, Ph.D
RNDr. Lubomír Jastrabík, CSc.
Mgr. Olexander Churpita