Systém pro realizaci depozice perovskitových vrstev

CZ 17135 U1 ,
Úřad průmyslového vlastnictví,
Zápis užitného vzoru ze dne 8.1.2007

Systém spadá do oblasti technologických postupů depozice tenkých feroelektrických vrstev s využitím plazmochemických reakcí a týká se konstrukce systému pro realizaci depozice perovskitových vrstev, zejména tenkovrstvých struktur typu Ba_xSr_1-xTiO₃.