O spektroskopii s doutnavým výbojem (GD-OES): základy, aplikace a souvislosti

GD-OES je metoda atomové emisní spektroskopie založená na atomizaci vzorku a excitaci pomocí doutnavého výboje, ve spektrálním zdroji s plochou katodou podle Grimma. Používá se k prvkové analýze kovů, slitin, anorganických povlaků a tenkých vrstev, a to objemového složení i hloubkových koncentračních profilů. Na semináři budou popsány principy, metodika, analytické vlastnosti metody a možnosti jejího využití na spektrometru instalovaném ve FZÚ, včetně příkladů typických aplikací.

Druhá část semináře bude věnována fyzikální interpretaci spekter GD-OES. Plazma výboje Grimmova typu je nerovnovážné, významně se zde uplatňuje ionizace a excitace srážkami s těžkými částicemi a kaskádová excitace. Budou popsány některé výsledky popisu emisních spekter takového plazmatu pomocí tzv. TR-diagramů, založených na vyšetřování relativních četností pozorovaných radiačních přechodů. Z literatury plyne, že existují podobnosti mezi některými charakteristikami výboje Grimmova typu a výbojů používaných k depozici tenkých vrstev (např. dc-magnetron, HiPIMS). Nabízí se otázka, zda by podobný přístup nešel využít i v diagnostice těchto výbojů.