Dvousvazkový mikroskop

Tzv. dvousvazkový mikroskop kombinuje vysokorozlišovací řádkovací elektronový mikroskop s fokusovaným iontovým svazkem. Přístroj umožňuje zobrazení povrchu prakticky všech pevných látek s limitním rozlišením 1 nanometr. Dále se používá pro třírozměrnou tomografii materiálů, analýzu krystalografie a chemického složení vzorků elektronovým svazkem, a vysoce přesné mikroobrábění iontovým svazkem.